UTM-3301 FW/日本ulvac愛(ài)發(fā)科/ 真空泵 /數(shù)字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列

DSMRO0030

采用數(shù)字5軸控制磁力軸承的復(fù)合翼型渦輪分子泵。UTM-FH和UTM-FW采用數(shù)字5軸控制磁力軸承，實(shí)現(xiàn)高功能，高可靠性，節(jié)能通信等優(yōu)勢(shì)。FH系列為高背壓，高壓縮型，輕中間工藝，氫壓縮比提高，F(xiàn)W系列高，大流量型，用于高負(fù)荷工藝和中硬工藝請(qǐng)。

特點(diǎn)
通過(guò)監(jiān)視和自診斷功能和通信功能，可以通過(guò)數(shù)字化對(duì)應(yīng)于集中管理系統(tǒng)。
安裝無(wú)耦合系統(tǒng)。通過(guò)一個(gè)電源的型號(hào)更換注冊(cè)的泵主體的組合操作是可能的。
安裝了變速系統(tǒng)。通風(fēng)速度可在25％至100％之間變化。
由于其優(yōu)異的耐腐蝕表面處理，可以選擇支持特殊的表面處理/內(nèi)部升溫系統(tǒng)，以進(jìn)行進(jìn)一步的硬化處理。（FW系列）
采用破壞性能量吸收結(jié)構(gòu)，高度的設(shè)計(jì)，減少故障時(shí)的設(shè)備損壞。
符合CE標(biāo)準(zhǔn)

使用
中硬加工主泵（FW系列）
作為輕?中間過(guò)程的主泵（FH系列）
作為各種實(shí)驗(yàn)設(shè)備的高至超高真空排空的主泵。

規(guī)范
高范圍和大流量型 高背壓和高壓縮型 進(jìn)氣口法蘭直徑 N 2抽速（L / s）* 1 * 2
- UTM-6300FH VG 500 6300
UTM-3301 FW UTM-3303FH VG 350 3300
UTM - 2300 FW - VG 300 2730
VG 250 2230
ICF 305 2110
UTM - 1400 FW - VG 250 1490
VG 200 1360
ICF 253 1300
UTM-1001 FW UTM-1001FH VG 200 1000
ICF 253 1000
UTM-800 FW UTM-800FH VG 150 810
ICF 203 740
UTM-480 FW UTM-480 FH VG 150 480
ICF 203 480
UTM-350 FW UTM-350FH VG 100 350
ICF 152 330
* 1 根據(jù)JVIS005標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量的值或基于測(cè)量值的計(jì)算值
* 2 沒(méi)有保護(hù)絲網(wǎng)的價(jià)值

· 

UTM-3301 FW/日本ulvac愛(ài)發(fā)科/ 真空泵 /數(shù)字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列

公司名稱(chēng) ULVAC公司
ULVAC公司
商標(biāo) ULVAC
創(chuàng)建 1952年8月23日
代表： 代表董事兼執(zhí)行官I(mǎi)washita Setsuko總裁
資本 20，873，045，2555日元
員工人數(shù) 1,293，合并6,439（截至2018年6月30日）
業(yè)務(wù)內(nèi)容 顯示器，太陽(yáng)能電池，半導(dǎo)體，電子電器，金屬，機(jī)械，汽車(chē)，化學(xué)，食品和制藥工業(yè)和真空設(shè)備，外圍設(shè)備，真空組件，開(kāi)發(fā)，制造，銷(xiāo)售和客戶(hù)的載體的材料的大學(xué)和實(shí)驗(yàn)室 - 進(jìn)出口機(jī)械設(shè)備。此外，一般的真空技術(shù)研究指導(dǎo)/技術(shù)顧問(wèn)。


我們的公司，我們成立了進(jìn)口和各種真空設(shè)備的銷(xiāo)售簽署了假設(shè)美國(guó)NRC設(shè)備公司和技術(shù)結(jié)盟于1952年代理協(xié)議的目的。基金會(huì)后的主要項(xiàng)目如下。

1952年 八月 成立日本獎(jiǎng)勵(lì)科技有限公司（資本600萬(wàn)）進(jìn)口和銷(xiāo)售各種真空設(shè)備。
1955年 四月 成立大森工廠(chǎng)，開(kāi)始生產(chǎn)國(guó)產(chǎn)設(shè)備。
1956年 十一月 我們合并了東洋精機(jī)真空實(shí)驗(yàn)室有限公司，開(kāi)始生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，如真空化學(xué)設(shè)備和真空泵作為尼崎工廠(chǎng)。
1959年 四月 總公司和大森工廠(chǎng)遷至橫濱市。
1961年 七月 應(yīng)用真空技術(shù)的基礎(chǔ)，開(kāi)始了真空冶金業(yè)務(wù)。
1962年 九月 成立真空材料有限公司（商品名改為ULVAC MATERIALS CORPORATION），開(kāi)始銷(xiāo)售耐火材料。
1962年 十月 真空科學(xué)與工程（現(xiàn)為·Advance科學(xué)與工程有限公司）成立，是一家專(zhuān)業(yè)的熱分析設(shè)備制造商
1963年 十月 雖然被合并到新生產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社（1929年9月20日成立），改名為當(dāng)日公司名稱(chēng)和ULVAC公司，繼續(xù)前ULVAC公司的業(yè)務(wù)。
1964年 一月 外國(guó)分公司信賴(lài)部，與美國(guó)Reliance Electric and Engineering Co.共同投資成立Japan Reliance Co.，Ltd ..
1964年 七月 成立香港ULVAC有限公司，與香港制造有限公司合資成立。
1966年 四月 分離真空冶金事業(yè)部成立真空冶金有限公司
1968年 五月 總公司和橫濱工廠(chǎng)搬遷到茅崎市。
1970年 七月 成立Sanwa ULVAC Sales Co.，Ltd。（商品名改為ULVAC East Japan Co.，Ltd。）為壟斷經(jīng)銷(xiāo)商。
1971年 七月 真空機(jī)械有限公司（現(xiàn)為ULVAC Kiko Co.，Ltd。）是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)小型真空泵的企業(yè)。
1972年 七月 在千葉縣成立新的超級(jí)材料研究實(shí)驗(yàn)室。
1975年 十二月 ULVAC北美公司（現(xiàn)為ULVAC Technologies，Inc。）在北美成立，作為出口到美國(guó)的基地。
1977年 一月 成立九州ULVAC INC。（現(xiàn)為ULVAC九州株式會(huì)社），擴(kuò)大在九州地區(qū)的銷(xiāo)售活動(dòng)。
1979年 一月 分離服務(wù)部門(mén)，成立ULVAC服務(wù)有限公司 分離SI部門(mén)，成立ULVAC Film Deposition Co.，Ltd。
1981年 十月 與美國(guó)Helix Technology Corp.共同投資成立ULVAC·CRYO CO。，LTD。
1982年 一月 在臺(tái)灣臺(tái)北成立ULVAC TAIWAN Co.，Ltd。（現(xiàn)在·ULVAC TAIWAN INC。）。
1982年 十一月 ULVAC·Phi Co.，Ltd。與美國(guó)Perkin Elmer公司共同成立。
1982年 十二月 茨城縣筑波科學(xué)城（現(xiàn)在筑波市）在市內(nèi)設(shè)立筑波超級(jí)材料研究所。
1983年 二月 北京辦事處在中國(guó)北京開(kāi)業(yè)。
1985年 三月 我們?yōu)楹司圩冴P(guān)鍵等離子體實(shí)驗(yàn)設(shè)備“JT-60”提供了真空泵系統(tǒng)。
1985年 四月 成立ULVAC SEIKI CO。，LTD作為關(guān)西的基地工廠(chǎng)。
1987年 一月 為了加強(qiáng)大型設(shè)備的生產(chǎn)系統(tǒng)，在青森縣八戶(hù)市建立了東北航空技術(shù)株式會(huì)社（現(xiàn)ULVAC東北株式會(huì)社）。
1987年 二月 在西德成立ULVAC GmbH，以加強(qiáng)歐洲的服務(wù)結(jié)構(gòu)。
1987年 五月 成立ULVAC企業(yè)中心有限公司，為集團(tuán)公司提供支持。
1987年 九月 英文公司名稱(chēng)改為ULVAC Japan，Ltd。
1988年 十月 九州真空技術(shù)有限公司在鹿兒島成立，建立了真空泵的批量生產(chǎn)系統(tǒng)。
1990年 五月 為了加強(qiáng)半導(dǎo)體制造設(shè)備的生產(chǎn)系統(tǒng)，在靜岡縣Sus野市新設(shè)立富士Sus野工廠(chǎng)。
1991年 十二月 九州真空科技有限公司合并了ULVAC SEIKI Co.，Ltd。，更名為ULVAC SEIKIKI CO。，LTD。
1992年 四月 資本金從12.1億日元增加到38.3億日元。
1992年 六月 資本金增加至38.5億日元。
1994年 十月 ULVAC服務(wù)有限公司合并ULVAC MATERIALS CO。，LTD。，更名為ULVAC Techno Co.，Ltd。
1995年 五月 在韓國(guó)首爾成立ULVAC KOREA，Ltd ..
1995年 九月 與寧波中國(guó)機(jī)械動(dòng)力機(jī)械集團(tuán)有限公司合資成立寧波愛(ài)知醫(yī)用真空技術(shù)有限公司。
1996年 十一月 為了擴(kuò)大真空設(shè)備的生產(chǎn)能力，東北航空技術(shù)株式會(huì)社，Ulvac Kyushu株式會(huì)社在鹿兒島工廠(chǎng)增設(shè)了清潔工廠(chǎng)。
1998年 一月 新加坡CS中心，臺(tái)灣新竹研發(fā)中心開(kāi)業(yè)，以擴(kuò)大亞洲的網(wǎng)絡(luò)。
2000 四月 開(kāi)設(shè)臺(tái)北五星服務(wù)中心。
2000 八月 我們?cè)赨LVAC KOREA，Ltd。建立了平澤工廠(chǎng)作為生產(chǎn)工廠(chǎng)。
2001年 五月 在寧波愛(ài)知醫(yī)用真空技術(shù)有限公司新建工廠(chǎng)
2001年 七月 公司名稱(chēng)改為ULVAC Co.，Ltd。（英文名稱(chēng)：ULVAC，Inc。）
2001年 十一月 加強(qiáng)客戶(hù)支持ULVAC TAIWAN INC。成立桃園CIP工廠(chǎng)。
2002年 一月 成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加強(qiáng)客戶(hù)支持系統(tǒng)。
2002年 七月 ULVAC East Japan Co.，Ltd。合并了Takayama ULVAC CO。，LTD。，將公司名稱(chēng)更改為ULVAC EIS Co.，Ltd。（現(xiàn)為ULVAC Selling Co.，Ltd。）。
2002年 十二月 收購(gòu)美國(guó)物理電子美國(guó)公司擁有的ULVAC·PHI Corporation股份（50％），并成為其全資子公司。
2003 三月 從美國(guó)RELIANCE ELECTRIC COMPANY收購(gòu)Nippon Reliance Co.，Ltd。股份（31％），將其股份增加至81％。
2003 五月 Ulvac Tohoku Co.，Ltd.，ULVAC Techno Co.，Ltd.，UMAT Co.，Ltd。在東北建立了機(jī)械加工，表面處理，精密清洗一體化工廠(chǎng)。
2003 七月 成立了真愛(ài)科技（蘇州）有限公司，作為中國(guó)的一家規(guī)模生產(chǎn)廠(chǎng)和一家CS解決方案工廠(chǎng)。
2003 八月 收購(gòu)Litrex Corporation 50％的股份，Litrex Corporation生產(chǎn)和銷(xiāo)售工業(yè)噴墨設(shè)備。
2004年 四月 在東京證券交易所第部上市的股票。
它將資本從38.5億日元增加到81億日元。
2004年 五月 它將資本從81億日元增加到89.5億日元。
2004年 七月 成立Ulvac Korea Precision，Ltd。，目的是由ULVAC KOREA，Ltd。和ULVAC Tohoku Co.，Ltd。在韓國(guó)共同制造大型基板真空部件。
成立Pure Surface Technology，Ltd。，與ULVAC KOREA，Ltd。和韓國(guó)真空冶金有限公司共同進(jìn)行成膜設(shè)備零件的表面處理。
2004年 八月 成立日本倚有限公司，生產(chǎn)控制面板和自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)器與圣經(jīng)電商人有限公司的合資企業(yè)，愛(ài)發(fā)科企動(dòng)力科技銷(xiāo)售（上海）有限公司在中國(guó)的目的。
2004年 十二月 資本金從85.5億日元增加到134.68億日元。
2005年 一月 成立ULVAC KIKO有限公司以及在與江蘇寶驪集樂(lè)團(tuán)，成立合資企業(yè)真空泵零部件的制造，愛(ài)為目的（靖江）有限公司在中國(guó)的發(fā)病家庭天馬電機(jī)銷(xiāo)售。
成立于與沉陽(yáng)中北真空技術(shù)有限公司合資真空爐制造，愛(ài)Hatsuka中北真空（沉陽(yáng)）有限公司出售在中國(guó)的目的（目前Aihatsuka真空技術(shù)（沉陽(yáng)）有限公司）。
將成都東方愛(ài)知真空吸塵技術(shù)有限公司改為子公司，更名為AIST東寶真空（成都）有限公司。
2005年 四月 Vacuum Metallurgical Corporation合并了UMAT Co.，Ltd。，更名為ULVAC Materials Corporation。
為了擴(kuò)大平板顯示器業(yè)務(wù)，我們從富士通VS LSI轉(zhuǎn)移了設(shè)備業(yè)務(wù)。
2005年 六月 為了增加ULVAC KOREA，Ltd。的產(chǎn)量，增加了Kanaya工廠(chǎng)。
ULVAC Kiko Co.，Ltd。在宮崎工廠(chǎng)建立了小型真空泵的評(píng)估和驗(yàn)證可靠性評(píng)估中心。
2005年 十一月 收購(gòu)Litrex Corporation在英國(guó)劍橋顯示技術(shù)有限公司擁有的股份（50％），并使其成為全資子公司。
成立ULVAC（THAILAND）LTD。在泰國(guó)銷(xiāo)售和現(xiàn)場(chǎng)支持。
2005年 十二月 建立和ULVAC臺(tái)灣制造公司這樣的平板顯示器制造裝置的制造中，一個(gè)超凈PRECISION科技股份有限公司向現(xiàn)場(chǎng)支持類(lèi)似的部件的機(jī)械加工和部件清洗旨在臺(tái)。
2006年 三月 成立愛(ài)知（中國(guó)）投資有限公司，以管理和監(jiān)督中國(guó)子公司。
2006年 四月 在臺(tái)灣成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，用于制造控制面板等。
2006年 七月 成立ULVAC研究中心KOREA，Ltd。，在韓國(guó)進(jìn)行研發(fā)。
在臺(tái)灣成立ULVAC研究中心TAIWAN，Inc。進(jìn)行研發(fā)。
2006年 八月 收購(gòu)Sigma Technos Co.，Ltd。的股份（70％），該公司生產(chǎn)和銷(xiāo)售精密平臺(tái)。
成立ULVAC MALAYSIA SDN.BHD。用于馬來(lái)西亞的銷(xiāo)售和現(xiàn)場(chǎng)支持。
2006年 九月 新成立的ULVAC TECHNO CORPORATION神奈川縣神崎市真空設(shè)備零件表面處理化學(xué)中心。
Miyazaki Kiko Co.，Ltd。宮崎工廠(chǎng)被添加到宮崎縣埼玉市，旨在鞏固小型真空泵的生產(chǎn)。
2006年 十一月 愛(ài)知縣愛(ài)知工廠(chǎng)在春日井市新成立，以擴(kuò)大平板顯示器制造設(shè)備的生產(chǎn)能力。
2007年 六月 成立ULVAC，Inc。印度分公司。擴(kuò)大印度業(yè)務(wù)。
2007年 九月 成立Sigma Technos Co.，Ltd。總部工廠(chǎng)，在埼玉縣日高市制造和銷(xiāo)售大型精密工作臺(tái)。
2007年 十一月 箕電商人有限公司，愛(ài)Hatsuka箕電科技（上海）有限公司因轉(zhuǎn)讓控股有限公司Aihatsuka自動(dòng)化科技（上海）公司名稱(chēng)變更為股份有限公司。

UTM-3301 FW/日本ulvac愛(ài)發(fā)科/ 真空泵 /數(shù)字磁力軸承式渦輪分子泵/UTM-FH / FW系列